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主被動隔振光學平臺
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STACIS III是一種靈活的高級主動隔振平臺系統。STACIS采用先進的慣性振動傳感器、先進的控制算法和*先進的壓電致動器,通過連續測量地面活動,然后擴展和收縮壓電致動器來過濾地面運動,以實時消除振動。
SEM主動隔振光學平臺系統可提供與以前型號平均高6 dB的隔振。此外,TMC的下一代控制器DC-2020采用了新的雙核處理器,為工具所有者和研究人員提供了一個非常簡單易用的圖形界面,可實現快速系統評估和安全操作。
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